избирательное химическое осаждение из паровой фазы

избирательное химическое осаждение из паровой фазы

 

избирательное химическое осаждение из паровой фазы
Процесс химического осаждения из паровой фазы, при котором тонкопленочный материал осаждается только в выбранных местах на поверхности подложки; избирательность осаждения управляется химическим составом поверхности, который можно локально изменять.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]

Тематики

  • полупроводниковые приборы

EN

  • SACVD
  • selective area chemical vapor deposition


Справочник технического переводчика. – Интент. 2009-2013.

Нужно сделать НИР?

Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»